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@a微机电系统@Awei ji dian xi tong@f苑伟政, 乔大勇, 虞益挺编著
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@a第2版
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@a西安@c西北工业大学出版社@d2021.6
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@a微机电系统工程系列教材@Awei ji dian xi tong gong cheng xi lie jiao cai
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@a“十二五”普通高等教育本科国家级规划教材 工业和信息化部“十四五”规划教材
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@a全书分为6章, 分别介绍了MEMS发展历程, MEMS理论基础, MEMS基本工艺技术, MEMS设计技术, 以及典型微器件与微系统和微测试技术。在介绍微加工工艺方面, 本书结合大量工艺实例, 易于学生理解, 有助于提高其动手能力; 对各种典型微机电器件的介绍, 大部分来源于实验室的课题研究实例, 内容充实新颖。
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| 微机电系统/苑伟政, 乔大勇, 虞益挺编著.-第2版.-西安：西北工业大学出版社，2021.6 |
| 341页：图；26cm.-(微机电系统工程系列教材) |
| “十二五”普通高等教育本科国家级规划教材 工业和信息化部“十四五”规划教材 |
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| ISBN 978-7-5612-7676-1：CNY69.00 |
| 全书分为6章, 分别介绍了MEMS发展历程, MEMS理论基础, MEMS基本工艺技术, MEMS设计技术, 以及典型微器件与微系统和微测试技术。在介绍微加工工艺方面, 本书结合大量工艺实例, 易于学生理解, 有助于提高其动手能力; 对各种典型微机电器件的介绍, 大部分来源于实验室的课题研究实例, 内容充实新颖。 |
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正题名：微机电系统
索取号：TH/502
预约/预借
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登录号
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条形码
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馆藏地/架位号
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状态
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备注
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1
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660946
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300660946
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海科-1楼/1架5列2层/
[索取号:TH/502]
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在馆
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2
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660947
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300660947
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海科-1楼/1架5列2层/
[索取号:TH/502]
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在馆
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3
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660948
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300660948
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海科-1楼/1架5列2层/
[索取号:TH/502]
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在馆
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