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@a978-7-111-72041-6@dCNY99.00
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@a一本书读懂芯片制程设备@Ayi ben shu du dong xin pian zhi cheng she bei@f王超 ... [等] 编著
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@a北京@c机械工业出版社@d2023.02
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@a254页@c图@d24cm
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@a集成电路科学与技术丛书@Aji cheng dian lu ke xue yu ji shu cong shu
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@a题名页题其余责任者: 姜晶, 牛夷, 王刚
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@a王超, 清华大学精密仪器系教授, 国家级人才称号获得者。
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@a有书目
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@a本书是围绕集成电路芯片发展和新一代信息产业技术领域 (集成电路及专用设备) 等重大需求, 编著的集成电路芯片制程设备通识书籍。集成电路芯片作为信息时代的基石, 是各国竞相角逐的“国之重器”, 也是一个国家高端制造能力的综合体现。芯片制程设备作为集成电路产业链的最上游, 贯穿于芯片制造全过程, 是决定产业发展的最关键一环。
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@12001@a集成电路科学与技术丛书
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@a芯片@Axin pian@x工业生产设备
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@aTN4@v5
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@aTN43@v5
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@a王超@Awang chao@4编著
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@a姜晶@Ajiang jing@4编著
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@a牛夷@Aniu yi@4编著
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@a王刚@Awang gang@4编著
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@aCN@b人天书店@c20230323
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@aCKNYKJZYXY@b300705724-5@dTN4@e122@f2
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| 一本书读懂芯片制程设备/王超 ... [等] 编著.-北京：机械工业出版社，2023.02 |
| 254页：图；24cm.-(集成电路科学与技术丛书) |
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| ISBN 978-7-111-72041-6：CNY99.00 |
| 本书是围绕集成电路芯片发展和新一代信息产业技术领域 (集成电路及专用设备) 等重大需求, 编著的集成电路芯片制程设备通识书籍。集成电路芯片作为信息时代的基石, 是各国竞相角逐的“国之重器”, 也是一个国家高端制造能力的综合体现。芯片制程设备作为集成电路产业链的最上游, 贯穿于芯片制造全过程, 是决定产业发展的最关键一环。 |
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正题名：一本书读懂芯片制程设备
索取号：TN4/122
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条形码
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馆藏地/架位号
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状态
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备注
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705724
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300705724
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海科-1楼/海科-1楼2架3列4层/
[索取号:TN4/122]
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在馆
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705725
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300705725
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海科-1楼/海科-1楼2架3列4层/
[索取号:TN4/122]
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在馆
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